Cible en tube de titane

Cible en tube de titane en élément titane Symbole Ti, numéro atomique 22, densité 4,454g/Cm3, propriétés physiques : point de fusion 1668C℃, point d'ébullition 3262°C, capacité thermique massique 0,52 (J/(Kg·K), chaleur d'évaporation 421 (KJ/Mol), chaleur de fusion 15,45 (KJ/Mol), conductivité 0,0234 (106/Cm).

En raison du coût élevé du titane de haute pureté, le champ d'application de la cible de tube en titane est extrêmement limité, principalement utilisé comme matériaux semi-conducteurs et matériaux d'aspiration dans les dispositifs à ultra-vide.

Le titane de haute pureté a la capacité d'absorber l'hydrogène, les gaz CH4 et Co2, il peut donc être largement utilisé dans les systèmes à vide poussé et à vide ultra poussé. Lors de la fabrication de réseaux de circuits LSI, VLSI et ULSI en pulvérisant le titane de haute pureté produit par Zhongkano peut rendent ces pièces intégrées extrêmement légères, minces, de petite taille et de circuit dense. Les cibles de tube en titane de haute pureté peuvent également être utilisées comme matériaux métalliques de barrière.

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